news 2026/6/8 23:21:43

Daihen 3D80-000826-V4功率发生器

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张小明

前端开发工程师

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Daihen 3D80-000826-V4功率发生器

Daihen 3D80-000826-V4 功率发生器是日本大畑(Daihen)株式会社生产、配套东京电子(TEL)设备的专用射频电源模块,其核心特点总结如下:

  1. 该型号实际对应 Daihen RGA-10D-V 型 RF 射频功率发生器。

  2. 输出频率为标准工业射频 13.56 MHz。

  3. 额定输出功率为 1kW(1000瓦)。

  4. 由日本大畑株式会社制造,工艺质量稳定可靠。

  5. 部件编号 TEL 3D80-000826-V4,其中 V4 表示特定硬件版本。

  6. 专为东京电子(Tokyo Electron)的半导体设备配套设计。

  7. 核心用途是作为等离子体电源,用于刻蚀、沉积等半导体工艺腔室。

  8. 采用风冷散热设计,结构内部可见铜质暴露部件。

  9. 具备过载、过热、反射功率检测等多重射频保护功能。

  10. 输出阻抗通常匹配 50 欧姆标准工业负载。

  11. 支持远程控制接口,可集成于自动化半导体生产线。

  12. 频率稳定度高,满足高精度工艺对射频源的要求。

  13. 采用模块化设计,便于在设备中进行更换维护。

  14. 适用于半导体制造、太阳能面板生产、真空镀膜等工业领域。

  15. 作为二手工业部件流通,常用于旧型号 TEL 设备的备件替换。

结尾:综上所述,Daihen 3D80-000826-V4(RGA-10D-V)功率发生器具有输出稳定、专用于 TEL 半导体设备及维修适配性强的特点,是半导体刻蚀与沉积系统中关键的射频能源供应模块。

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