GEM200 Remote Command(远程命令)是SEMI E30标准定义的核心功能,允许上位机(Host)向设备下发指令以控制运行状态或执行特定操作。这是实现半导体产线全自动远程控制的基础。
核心通信机制
S2F41 Host Command Send
Host通过S2F41消息向设备发送远程命令。消息体包含命令名称(RCMD)及可选的参数列表(CPNAME/CPVAL),例如START命令可附带配方ID和批次号等参数。
S2F42 Host Command Acknowledge
设备收到S2F41后,必须回复S2F42消息进行确认。该消息包含命令执行结果码(HCACK0以及具体参数的错误码(CPACK),用于告知Host命令是否被成功接受。
常见标准命令
- START:启动设备运行或开始加工流程。
- STOP:有序停止当前运行流程。
- PAUSE/RESUME:暂停正在执行的流程/从暂停状态恢复执行。
- ABORT:紧急中止当前流程并进入安全恢复状态。
典型交互时序
1.前置条件:设备必须处于ONLINE REMOTE状态才能执行控制类命令。
2.命令下发:Host发送S2F41请求启动,设备校验状态与参数后回复HCACK=0(Accepted)。
3.异步完成通知:命令执行完毕后,设备通过S6F11上报对应的Collection Event(如 ProcessStarted)通知Host。
常见拒绝原因码
若命令无法执行,设备会在S2F42中返回非零的HCACK状态码:
- HCACK=1:无效命令,设备未定义该RCMD。
- HCACK=2:当前状态不允许执行(如设备处于Local模式)。
- HCACK=3:参数错误,参数名不存在或数值非法。
Module Builder中的Command模块
Module Builder中的Command模块主要有以下作用:
- 展示当前已经定义好的Command命令,并支持用户对其进行修改和删除。
- 允许用户新增Command命令,支持新增带参数的Command命令以及不带参数的Command。
用户可根据自身需求在Parameters表单中选择带参数还是不带参数。需要注意的是Command的Name属性具有唯一性,在添加或修改的时候不允许重复。