news 2026/4/21 15:01:27

原创文档:基于改进YOLO11算法的芯片微缺陷检测系统设计与实现

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张小明

前端开发工程师

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原创文档:基于改进YOLO11算法的芯片微缺陷检测系统设计与实现

摘要:芯片制造过程中的微小缺陷(5-7像素)检测是质量控制的关键环节,但现有目标检测算法在处理此类微小目标时存在特征信息丢失、检测精度低和漏检率高等问题。针对上述问题,本文提出了一种基于YOLO11的改进检测方法YOLO11-P2-MDH。

论文概述

在YOLO11网络架构中引入P2高分辨率检测分支(stride=4),该分支在网络浅层提取并保留高分辨率特征图,有效缓解了多次下采样导致的微小目标空间信息丢失问题。其次,设计了P2_MDH微缺陷增强模块,该模块采用深度可分离卷积结构降低计算复杂度,结合轻量级通道感知机制自适应调整特征权重,并通过残差连接保持特征传递的稳定性,从而增强了微缺陷的局部特征表达能力。

在自建的芯片微缺陷数据集上进行了充分的实验验证,该数据集包含7810张图像和12119个标注框,涵盖划痕(Scratch)、针孔(Pin)、污染(Contamination)和封装(Package)4类典型缺陷。实验结果表明:改进模型的mAP@0.5达到98.1%,mAP@0.5:0.95达到90.5%,精确率为98.5%,召回率为95.9%,相比基线YOLO11模型分别提升了2.3%、3.8%、1.7%和2.4%。同时,模型参数量仅为2.66M,单张图像推理时间为4.9ms,在保持轻量化的同时满足了工业实时检测的需求。

本文所提方法有效解决了芯片微缺陷检测中的关键技术难题,为工业微小目标检测提供了新的解决思路,具有重要的理论意义和应用价值。

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作者:Bob (张家梁)
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