news 2026/10/6 10:09:10

3D NAND深度解析:从垂直堆叠到SSD选型的实用指南

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张小明

前端开发工程师

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3D NAND深度解析:从垂直堆叠到SSD选型的实用指南

从搜索引擎的热搜词里能看出一个很有意思的现象:提到“3D NAND”,旁边总跟着“节省内存”“内存占用”“内存释放”这类词。说实话,这两件事经常被放在一起问,但它们完全是两条技术线。3D NAND是闪存,解决的是数据怎么存得住、存得多的持久化问题;运行内存是DRAM,解决的是CPU工作时往哪放临时数据的问题。我见过不少朋友因为电脑卡顿,跑去研究固态硬盘怎么清理,结果发现根子在开机自启程序上;也有另一些人把电脑内存加了又加,却不知道为什么SSD还是那么慢。

这篇是系列里的第六十七篇,正好把3D NAND完整拆一遍。我会从它为什么诞生讲起,一路讲到内部结构、制造车间的核心工艺、产品选型,以及日常使用里真正用得上的经验。如果你正在选SSD,或者对闪存芯片是怎么从“平面”变成“立体”的好奇,这篇可以给你一条比较清晰的主线。

1. 闪存“长高”之前:平面缩小的物理极限

1.1 浮栅晶体管是怎么存数据的

要理解3D NAND,得先知道NAND闪存的基本存储单元是什么。它叫浮栅晶体管(Floating Gate Transistor),你可以把它想成一个小口袋:口袋本身被两层氧化层死死夹在中间,电子能装进去,但正常情况下出不来。

写入数据的时候,控制栅加高压,电子获得足够能量,穿过隧穿氧化层,掉进浮栅这个“口袋”里。浮栅里电子多了,晶体管的阈值电压就变高;电子少,阈值电压就低。读取时给控制栅加一个参考电压,如果晶体管导通了,说明阈值电压低于参考电压,单元里存的是低阈值状态;要是没导通,就是高阈值状态。对外呈现的就是0和1。

这个原理看起来简单,但关键全在那层隧穿氧化层的厚度和质量上。氧化层太薄,电子会自己一点点漏出去,过几天数据就没了;太厚,写进去要费很大的电压,擦除也很费劲。平面NAND时代,这层氧化层长期保持在8到9纳米左右,是几十年工艺迭代出来的平衡点。

1.2 十几纳米之后,光刻帮不上忙了

从2000年到2010年代中期,NAND闪存走的是跟CPU类似的路线:把单元越做越小,密度越高,成本越低。2D NAND一路缩到十六七纳米节点,再往下缩就撞墙了。

第一堵墙是氧化层没法跟着缩小。浮栅单元之间的距离越来越近,相邻单元之间会产生严重的寄生电容耦合。一个单元里存了一堆电子,电荷会通过电场影响旁边单元的电中性与否,读取的时候阈值电压就会漂移,数据读错的风险大大增加。你可以想象一排装满水的气球贴在一起,你捏其中一个,其他几个也会跟着变形。

第二堵墙是成本。线宽从20纳米缩到10纳米,光刻机、刻蚀机、光刻胶全都要换代,一颗晶圆的制造成本翻着跟头上涨。单元尺寸小了,单个单元能存的电子数量也变少,信号噪声变大,主控纠错的压力也随之增大。

而且闪存这种产品本来就走大规模、低利润的路线,继续用越来越贵的设备去追求越来越小的线宽,经济和工程上都走不通。所以当时几大原厂几乎同时意识到:水平方向的缩小,该到头了。

1.3 两条新路:一个是垂直,一个是转变存储机制

行业里最终给出的答案不是继续缩小,而是换维度。三星的V-NAND、东芝和闪迪合作的BiCS、Intel与美光联合开发的3D NAND,共同点都是:不再把存储单元往平面上挤,而是把一层一层的单元垂直堆叠起来,用层数换密度。

这个转变相当于什么?过去你只能在一层地上摆家具,摆不下就拼命把家具做小;现在你干脆盖楼,一层不够盖十层,每层家具不用变小,总容量照样上去了。这就是3D NAND这个名称的由来。

2. 垂直堆叠的存储阵列:3D NAND是怎么工作的

2.1 结构:千层饼和穿过去的针

3D NAND的微观结构,很适合用一个生活化的画面去理解:一大块千层饼。饼的每一层,是后续要当字线(Word Line)用的导电层,层与层之间是绝缘隔离层。制造时先交替沉积几十上百层薄膜,然后像一个针一样,从上往下垂直扎出一个极细的孔,一直穿透所有层。这个孔叫通道孔(Channel Hole)。

孔扎完之后,会在侧壁上涂一层存储电荷的介质材料,再往里填充导电的多晶硅或者别的材料,形成垂直通道柱。这样一来,每一层导电层与垂直通道柱的交点,就形成了一个存储单元。同一根垂直柱上,从上到下串联了几十到上百个存储单元,这串单元在架构上叫NAND串(String)。

读取某个单元时,选中它所在的字线层,加一个参考电压;其余所有字线层都加一个“开”的电压,让通道导通。这时如果选中单元的阈值电压低,通道就是导通的,感应放大器能看到电流;反之通道不通。通过这种方式,就能精确判断某一层某一个单元里存的是哪个状态。

2.2 电荷捕获:没有浮栅的存储单元

平面时代的主流单元是浮栅结构,但到了3D NAND,绝大多数原厂都转向了电荷捕获(Charge Trap Flash,CTF)结构。区别在哪?浮栅是一块导电的“大水塘”,电子全集中在这块导体里;电荷捕获则是把电子困在一层氮化硅材料的“陷阱”里,上下用氧化硅保护层夹住,组成ONO(Oxide-Nitride-Oxide)结构。

电荷捕获的好处非常直接:它不需要在每一层薄膜里单独精加工出一个孤立的导电浮栅块,只需要沉积一层连续的氮化硅,整个制造的复杂度和成本就下去了。同时,氮化硅里的电荷是分散的,即便存储单元之间距离很紧,也不会像导电浮栅那样隔着绝缘层还在互相耦合。这对垂直堆叠结构来说几乎是天作之合。

2.3 一个单元存几位:TLC、QLC

同一个存储单元,可以通过分多个电压档来存多个位。SLC(1 bit/cell)只分两档,TLC(3 bit/cell)把阈值电压范围切成8个区间,QLC(4 bit/cell)切成16个区间。档位越多,单个单元容量越大,但状态分布越挤,受噪声干扰的影响也越明显。

3D NAND的一个重要贡献,是让QLC真正走向量产。在平面时代做QLC,相邻单元耦合、氧化层损耗、电荷泄露叠加在一起,16个电压状态很容易糊成一团。而3D架构的电荷捕获单元天然隔离得更好,再搭配更前沿的纠错算法和主控,4位/单元才终于能在消费级产品里站住脚。当然,QLC的代价也很明确:写入速度更慢、可擦写次数更低。这也是为什么现在买SSD,不少懂行的用户会先问一句“这盘颗粒是TLC还是QLC”。

3. 制造工厂里的硬仗:沉积、刻蚀和替换栅极

3.1 千层酥怎么造出来

3D NAND制造的第一步是薄膜沉积。晶圆放进反应腔,用化学气相沉积或原子层沉积的方式,一层氧化硅、一层氮化硅交替往上盖,盖出几十上百层的“千层酥”。这些年层数从64层涨到96层、128层、232层,最新产品已经向300多层迈进。

难点在每层厚度一致性和整体应力控制。几百层薄膜全沉积完,如果每层厚一点点、薄一点点,累积起来就是晶圆翘曲变形。晶圆一弯,后面的光刻、套刻、对准全都会偏。工厂里会实时用光学和声学手段测量膜厚,出现翘曲就要调整沉积温度和工艺气体比例来做应力补偿。这个环节看着枯燥,实际上决定了后面所有工艺的“地基”。

3.2 深孔刻蚀:一比五十的高宽比

薄膜叠好之后,轮到最深的一道工序:从上到下刻出贯穿所有层的通道孔。一百多层产品实际孔深约8到10微米,孔径却只有几十到一百纳米量级,深宽比轻松超过50:1。50比1是什么概念?相当于要打一眼1米深的井,井口直径只有2厘米,还得保证井壁从上到下都是垂直的、直径几乎不变。

工业上用的是深反应离子刻蚀,刻蚀气体在垂直方向高速轰击,同时侧壁要做钝化保护,防止横向越挖越宽。这里工程师要反复调刻蚀气体配比、射频偏压功率、反应腔温度和压力,任何一个参数偏了,孔就可能变成“瓶形”甚至“沙漏形”。孔形一旦走样,后面沉积的存储介质和通道柱就不均匀,整颗芯片的良率直线下降。可以说,通道孔刻蚀是3D NAND良率的最大命门。

3.3 替换栅极:为什么用钨而不用原来的氮化物

早期堆叠的字线层用多晶硅就能干活,但多晶硅电阻率偏高,层数多了之后,字线上的RC延迟会严重影响读写速度。所以现代3D NAND普遍采用替换栅极工艺:初始堆叠里先放牺牲氮化硅当占位层,等通道孔和存储介质搞定之后,再从侧向窗口把牺牲层刻蚀掏空,换成电阻率更低的钨或金属材料,形成最终的金属字线。

替换栅极听着简单,做起来非常头痛。填充钨的窗口极窄、通道极深,任何一处堵了,就意味着一整层字线断路,整个芯片报废。所以填充前要涂超薄阻挡层和粘附层,防止钨扩散到介质里;填充时要密切关注气泡、缝隙、台阶覆盖均匀度。制程层数越高,这一步的失败点越多,这也是232层、300多层产品良率爬坡慢的直接原因。

3.4 单元串变长以后,速度的账也要重新算

层数堆高了,物理密度上去了,但电学上有个副作用:垂直通道上的存储单元串在一起,单元越多,通道电阻越大,读电流越小,读取速度天然会变慢。所以不是层数越高,性能一定越好;很多时候新制程是在密度、速度和可靠性之间做取舍。

为了缓解这个问题,厂商在架构上做了不少文章。有的做出“台阶式”引出结构,把单元串分段,缩短单串长度;有的把CMOS外围电路放到存储阵列下方,省面积的同时缩短了信号路径。这些细节用户平时看不见,但理解以后,你再看厂商宣传的层数数字,就不会只跟着“多就是好”走了。

4. 从裸片到产品:SSD、U盘、手机存储的落地与选型

4.1 产品形态:除了固态硬盘还有U盘

3D NAND裸片本身只是存储介质,要变成能用的产品,还得配上控制器、接口和固件。常见形态有这么几类:

  • NVMe固态硬盘:走PCIe总线,M.2接口居多,消费级性能天花板所在,4K随机读写在日常使用中体感最明显。
  • SATA固态硬盘:接口老、速度上限约550MB/s,但兼容性好,老平台升级首选。
  • U盘和SD卡:小容量低功耗场景,很多便宜的U盘用的甚至还是QLC颗粒,随机性能很弱。
  • eMMC和UFS:手机、平板、车机里用的嵌入式存储。eMMC偏老,UFS读写带宽明显更高,现在中高端手机基本都标配UFS 4.0了。

4.2 容量、缓存和TBW

选SSD时第一个坑是容量标注。厂商按十进制说1GB=10亿字节,操作系统按二进制显示,所以标称512GB的盘,在电脑里显示约476GB,属于正常现象,不是缺斤短两。

第二个要注意的是缓存方案。有的SSD带独立DRAM缓存,FTL映射表放在盘内内存里,随机性能稳;有的省成本不加DRAM,靠HMB(Host Memory Buffer)机制借用主机内存做映射缓存。HMB的好处是“省内存”且成本低,缺点是性能对主机环境敏感,在部分不支持HMB的老平台上会明显变弱。如果你拿它当系统盘,买之前建议先查一下主控是否支持HMB、你的主板是否开了对应功能。

第三个是TBW,即“总写入字节数”,代表厂商敢给你保证的总写入量。视频剪辑、监控录像、数据库日志这类高写入负载,优先选TBW大、TLC颗粒、带独立DRAM的型号;普通办公、家用,QLC加大容量方案的性价比就很好。

4.3 层数、代际和“新未必好”

厂商宣传里常能看到“232层比128层先进”的说法。层数确实影响成本——层数越高,同样芯片面积上能塞的容量越大,单位比特成本越低。但落到具体产品体验上,读写速度、掉速临界点、寿命表现,更多取决于控制器、固件策略和缓存配置。

所以我选盘时基本不看层数宣传,更不会因为某盘是“最新层数”就认定它一定好。一般我会看三样东西:主控方案是谁家的、颗粒是不是原厂正片、第三方评测里的长时间持续写入曲线。这三样加起来,比“第几代工艺”实在得多。

5. 使用3D NAND设备时的几个实用经验

5.1 为什么固态硬盘快满时会变慢

闪存的物理特性是:必须先把一个块整个擦干净,才能往里面写数据。盘里空闲块多的时候,写入直接找空块就行;空闲块少的时候,主控得一边把分散的旧数据搬走,一边擦除,一边写入,这个过程就是垃圾回收(GC)。

这也解释了为什么SSD差不多装满的时候,速度会肉眼可见地掉下来。我自己的习惯是给系统盘和重要数据盘留出大约20%的剩余空间,这个习惯在用了很多年SSD之后,已经成了默认操作。别把固态盘塞到99%再用,那是在跟主控过不去。

5.2 打开TRIM,别用老办法“碎片整理”

机械硬盘时代,定期碎片整理能提速,但这个习惯搬到固态上是反向操作。碎片整理意味着大量额外写入,白白消耗NAND的擦写寿命。固态盘的正确伙伴是TRIM指令:操作系统把已删除文件的页标记为无效,通知主控这些地方可以提前擦除回收。Windows默认打开TRIM,你在命令提示符里可以用fsutil behavior query DisableDeleteNotify查一下,返回0就是正常开启。

5.3 “内存”那点事:DRAM和NAND的界限

回到开头那个热搜词,“3D NAND节省内存”到底是什么?严格说,3D NAND并不直接“节省”你电脑里的DRAM内存。它顶多通过HMB功能借用一点点内存做缓存,或者因为本身容量大让你不用频繁开虚拟内存,间接减轻了内存换页压力。但如果你的电脑开机就占用50%内存,那要查的是开机自启程序、浏览器标签页数量,而不是去动固态硬盘。反过来,SSD快满了需要清理文件,你也不可能靠插两根内存条解决问题。一个断电就丢数据,一个断电还能存住,这两种设备从一开始就是两条路。

5.4 一盘写尽后怎么看待健康度

用久了想看看SSD状态,就用CrystalDiskInfo这类工具读SMART信息。我一般先看健康度百分比,再看通电时间、累计写入量和坏块重映射计数。3D NAND的磨损均衡机制会尽量把写入分散在所有块上,所以单一区域的过度磨损不常见;但一旦“已重映射扇区计数”开始明显上升,说明有块撑不住了,重要数据请第一时间备份,别赌它还能撑多久。


最后再分享一点我跟存储硬件打交道的私人体会。很多人把3D NAND当成一个高深莫测的黑话,其实拆开看,它就是整个行业在物理极限面前做的一次聪明的妥协:不硬着头皮把线条做细,而是换了个维度盖楼。挑固态硬盘的时候也一样,别光听厂商喊层数多高,看颗粒类型、看缓存方案、看TBW,比你记住任何营销数字都有用。下一篇我打算顺着这个主题再往深走一点,聊聊不同原厂在通道孔工艺和V-NAND/BiCS架构上的差异,到时候再继续。

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