news 2026/9/17 11:45:26

在裸晶圆上,颗粒的检测是如何实现的?

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张小明

前端开发工程师

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在裸晶圆上,颗粒的检测是如何实现的?

知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,星球号:63559049)里的学员问:在裸晶圆上,颗粒的检测是如何实现的?比较经典的颗粒检测机台有哪些?

颗粒检测用什么光源?

激光。激光束扫描旋转中的晶圆表面,在无颗粒的光滑表面上,激光束发生镜面反射,当激光遇到颗粒时,部分入射光线会向各个方向散射。在暗场照明中,散射光可以直接检测;在明场照明中,可以通过检测镜面反射光强度的变化来表示。

明场与暗场各用来检测什么?

明场的光源垂直地照射到晶圆表面,暗场光源以一定的倾斜角度照射晶圆表面。暗场的视野一般是黑色的,只有表面有颗粒时,才看到发光体。

明场适用于检测表面较光滑,颗粒较大的晶圆,暗场适用于检测超微小的颗粒。检测机台如何记录光强?
使用PMT或CCD来记录光强。PMT是光电倍增管。

比较经典的检测机台型号?

KLA Surfscan SP2

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